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行业动态
各国洁净室等级标准
来源:本站 发布日期:2017/1/4 点击次数:3529
洁净室等级根据国家不同有不同的等级规定,目前世界各国虽有自订规格,但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多,今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准 209D 之洁净室规格。
空气洁净度标准与控制对象

洁净度等级标准

说明:工程中所依据的各项标准和规范,重要内容应记录在脑子里。

空气洁净度:洁净空气中含尘量多少的程度(即含尘浓度)。

含尘浓度高则洁净度底,含尘度底则洁净度高。

1、美国空军技术条令

世界上第一个洁净度标准。1961年3月问世。美国联邦标准的基石。

2、美国联邦标准209

1963年12月问世。
0.5μm    5.0μm

3、现在标准

美国联邦标准FS209E

美国联邦标准FS209E 


美国联邦标准 209D 洁净室规格

美国联邦标准 209D 洁净室规格


至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位,即洁净室等级以“M”字头表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推,其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,而取指数为之;若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间(即非整数,则以1.5、2.5、或3.5......1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容,前述之M字母后的数字,可从表中0.5um列的数值中求出,读者可试算之。

日本JIS(9920~1989)标准


日本JIS(9920~1989)标准



美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,而日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位;另外209D与日本JIS(B9920-1989)标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准,而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即最好之等级为Class1,最差则为Class8,日本JIS(9920-1989)之标准规定的粒子上限数(个/m 3)。其Class1,Class2...之数目字以0.1um粒子为基准,而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方,取其指数而得。


德国规格表

德国规格表


在德国工业及医学等之多数领域中,洁净室是为相关产业界所重视和期望发展之技术,因此在1967年完成了德国的洁净室规格,在德国规格中洁净室等级之表示法与美国规格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒径0.5um以上之粒子数,而以其中之指数n规定等级,4*10 3即表示等级为3,此等级与美国联邦规格Class100想近似。德国规格所容许之粒子数与美国、法国、近似等级之表示。

*()内之数值单位:个/M 3。

洁净室粒经表


美国联邦标准209D标准粒子之数目上限值(个/ ft 3)(以0.5u粒子为依准)。由于美国与日本规格中所表示之单位分类不同,为让使用人员有一快速之获知二者之相近标准等级,以期运用于工作上,故有必要将二者之间做一洁净度级别之换算。

美日洁净度级别换算

美日洁净度级别换算


除了美国、日本、德国、之洁净室标准外,世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格,本文世界各国洁净度等级规格之比较。


中国国家标准GB50073-2001

(等同采用国际标准ISO14644-1)


特点:与旧规范相比,控制粒径2种增加到6种;4个级别增加到9个级别。另,允许采用整数间的中间级别。

洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级



医药行业洁净厂房空气洁净度标准GMP-97.

医药行业洁净厂房空气洁净度标准GMP-97.


注1:大于100000级的参数是参考美国联邦标准洁净室和洁净区内空气浮游粒子洁净等级;
注2:空气洁净度的测试以静态条件为依据,测试方法应符合国家医药管理工业洁净室和洁净区悬浮粒子的测试方法;
注3:对于空气洁净度为100级的洁净室,室内大于等于5μm尘粒的计数,应进行多次采样,当其多次出现时,方可认为该测试数值是可靠的。

基于≥0.5μm粒径的各国洁净度等级近似对照表

基于≥0.5μm粒径的各国洁净度等级近似对照表


世界各国洁净度等级规格表

世界各国洁净度等级规格表


*以0.5um为区别。

洁净度的控制对象

控制对象:最小微粒直径,微粒数量。

一、控制的最小粒径
(1)生产的机械角度考虑;
(2)白炽灯作光源的散射光式粒子计数器测试;
(3)大规模集成电路生产要求控制0.1μm。

二、控制的微粒数量
原则:(1)现有措施能达到;
         (2)经济上能明显区别;
         (3)记忆方便。

三、被控制的含尘浓度的具体规定
1、何状态下的含尘浓度
动态、静态、空太

2、何范围内的含尘浓度
离地0.8-1.5m高的地区。

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